一種電光晶體通光面法線與Z軸偏離角的測(cè)量裝置及其測(cè)量方法,該測(cè)量裝置包括激光器、第一透鏡、空間濾波器、第二透鏡、起偏器、第三透鏡、分光鏡、數(shù)字光電內(nèi)調(diào)焦自準(zhǔn)直儀、第四透鏡、檢偏器、成像透鏡、探測(cè)器和計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)。本發(fā)明利用錐光干涉原理,實(shí)現(xiàn)了待測(cè)電光晶體非接觸式無損檢測(cè),保障了測(cè)量過程中不引入待測(cè)電光晶體表面劃痕,并且適用于大口徑電光晶體檢測(cè),另外本發(fā)明采用數(shù)字光電內(nèi)調(diào)焦自準(zhǔn)直儀標(biāo)定檢測(cè)光束光軸方向,保障了檢測(cè)光束垂直入射待測(cè)電光晶體,具有測(cè)量精度高,測(cè)量重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn),具有很大應(yīng)用前景。
聲明:
“電光晶體通光面法線與Z軸偏離角的測(cè)量裝置及其測(cè)量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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