本發(fā)明公開了一種快速測定金屬鍍層厚度的方法,通過采用皮秒脈沖激光器在單點剝蝕模式、20Hz脈沖頻率和875μm散焦距離等特定的條件下對樣品進行剝蝕,通過電感耦合等離子體質(zhì)譜儀得到可將鍍層金屬和基材金屬直觀區(qū)分開的時間分辨圖,確定時間分辨圖中鍍層金屬和基材金屬的交界點,由此確定剝蝕鍍層金屬的剝蝕時間,然后以相同鍍層的標(biāo)準(zhǔn)片為基準(zhǔn)計算金屬鍍層的單位脈沖剝蝕量,根據(jù)單位脈沖剝蝕量和剝蝕時間計算得到鍍層厚度;優(yōu)點是實現(xiàn)鍍層厚度的無損快速檢測,不受是否導(dǎo)體的限制,對樣品的形狀沒有要求,且準(zhǔn)確的區(qū)分兩層金屬邊界,檢測精度高。
聲明:
“快速測定金屬鍍層厚度的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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