本發(fā)明提供一種基于鍵合技術(shù)的光學(xué)讀出紅外探測(cè)器陣列的制作方法,所述制作方法至少包括:1)提供一犧牲襯底和一玻璃襯底,將所述犧牲襯底與所述玻璃襯底鍵合,減薄所述犧牲襯底形成犧牲層;2)在所述犧牲層上制作形成像素結(jié)構(gòu)陣列,所述像素結(jié)構(gòu)陣列包括制作于所述犧牲層表面的懸浮結(jié)構(gòu)和制作于犧牲層中且與所述玻璃襯底直接接觸的錨;3)腐蝕所述犧牲層,釋放所述像素結(jié)構(gòu)陣列,形成光學(xué)讀出紅外探測(cè)器陣列。本發(fā)明提供的制作方法能同時(shí)滿足器件對(duì)機(jī)械強(qiáng)度、熱串?dāng)_、像素的無損釋放和紅外輻射利用率等各方面的要求,適用于工業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“基于鍵合技術(shù)的光學(xué)讀出紅外探測(cè)器陣列的制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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