本發(fā)明提供了一種失效分析無緩沖圖像采集的方法,預(yù)設(shè)目標拍攝區(qū)域,將該目標拍攝區(qū)域劃分成多個連續(xù)但不重疊的長方形子區(qū)域,所述子區(qū)域的長和寬與每張照片能拍攝到的長和寬一致;移動樣品至第一個拍照子區(qū)域,打開電子束對該區(qū)域進行掃描,收集二次電子或背散射電子等物理信號并形成圖像;關(guān)停電子束,將樣品移動至下一個拍照子區(qū)域;重復(fù)此過程,直至掃描收集完全部子區(qū)域的圖像。本發(fā)明還提供了一種可以執(zhí)行上述方法的失效分析無緩沖圖像采集系統(tǒng)。
聲明:
“失效分析無緩沖圖像采集的方法和系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)