本發(fā)明揭示了一種晶圓區(qū)域性問題的分析系統(tǒng)及方法。本發(fā)明提供的晶圓區(qū)域性問題的分析系統(tǒng)包括失效抓取模塊,抓取每個測試點(diǎn)的失效情況;失效模型模塊,具有設(shè)定的失效模型;失效模型匹配模塊,根據(jù)所抓取的每個測試點(diǎn)的失效情況,與所述失效模型進(jìn)行匹配,當(dāng)獲得匹配時,輸出對應(yīng)的多個測試點(diǎn)的位置和失效代碼;待處理模塊,根據(jù)所述多個測試點(diǎn)的位置,獲得在所述多個測試點(diǎn)周圍區(qū)域測試通過的點(diǎn)的位置,列為有風(fēng)險的測試點(diǎn)。本發(fā)明使得測試通過的點(diǎn)更穩(wěn)定,避免功能性分析滯后,提高了良率。
聲明:
“晶圓區(qū)域性問題的分析系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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