本實(shí)用新型提供一種晶舟位置偵測器防護(hù)裝置，真空腔和貫穿該真空腔底部的光桿，所述光桿連接有位于真空腔內(nèi)的晶舟承載平臺(tái)；位于真空腔外的所述光桿連接有沿一絲桿上下移動(dòng)的托板；所述絲桿連接于一馬達(dá)；位于所述托板上且設(shè)有校準(zhǔn)點(diǎn)的導(dǎo)桿；位于所述真空腔外與所述真空腔相對固定且用于偵測所述校準(zhǔn)點(diǎn)的位置偵測傳感器；位于所述托板下方的開關(guān)觸發(fā)裝置；該開關(guān)觸發(fā)裝置內(nèi)設(shè)有常開常閉開關(guān)；其中，常開端與馬達(dá)構(gòu)成回路，常閉端與位于該開關(guān)觸發(fā)裝置內(nèi)的報(bào)警裝置構(gòu)成回路。該晶舟位置偵測器防護(hù)裝置用于解決現(xiàn)有技術(shù)中由于位置偵測傳感器失效而使得所述托板上下運(yùn)動(dòng)異常造成晶圓撞擊損壞的問題，同時(shí)減少人工維護(hù)的工作量和節(jié)省維護(hù)費(fèi)用。