本發(fā)明涉及一種MEMS
芯片保護蓋的移除方法,芯片包括芯片主體和罩蓋于芯片主體的頂部的保護蓋,該移除方法包括如下步驟:提供固定板,將芯片主體的底部粘貼于固定板的頂面;提供連接板,將連接板粘貼于保護蓋的頂部,且連接板垂直于固定板;壓住固定板,并向上抬起連接板,以使得連接板帶動保護蓋向上運動,從而移除保護蓋。本發(fā)明有效地解決了腐蝕液容易造成元件腐蝕或損傷的問題,既能夠移除保護蓋,又能夠保護芯片主體,以方便后期對芯片的分析,降低了芯片因試驗以外的原因失效的風險,提升分析結(jié)果的可靠性。
聲明:
“MEMS芯片保護蓋的移除方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)