權(quán)利要求書： 1.一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)，其特征在于：包括箱體（1），箱體（1）內(nèi)設(shè)置有放置臺(tái)（11），放置臺(tái)（11）上設(shè)置有用于分選晶粒的分選機(jī)構(gòu)（3），放置臺(tái)（11）上設(shè)置有夾持機(jī)構(gòu)（2），夾持機(jī)構(gòu)（2）上設(shè)置有夾具一（241）和夾具二（242），夾具一（241）和夾具二（242）用于在箱體（1）內(nèi)移動(dòng)并將晶圓移動(dòng)至分選機(jī)構(gòu)（3）中，放置臺(tái)（11）上可拆卸連接有未分類片料匣（4）和已分類空/滿盤料匣（5），夾持機(jī)構(gòu)（2）用于將未分類片料匣（4）中的晶圓移動(dòng)至分選機(jī)構(gòu)（3）中，夾持機(jī)構(gòu)（2）用于將分選后的晶圓移動(dòng)至已分類空/滿盤料匣（5）中，所述夾持機(jī)構(gòu)（2）包括X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（21）、Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（22）、Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一（231）和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二（232），X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（21）懸空設(shè)置在放置臺(tái)（11）上方，Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（22）連接在X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（21）上，X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（21）用于帶動(dòng)Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（22）滑動(dòng)，Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（22）的滑動(dòng)方向與放置臺(tái)（11）平行，Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（22）上設(shè)置有基架（230），Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（22）用于帶動(dòng)基架（230）滑動(dòng)，基架（230）的滑動(dòng)方向與放置臺(tái)（11）平行，基架（230）的滑動(dòng)方向與X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（21）滑動(dòng)方向垂直，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一（231）和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二（232）設(shè)置在基架（230）上，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一（231）與夾具一（241）連接，夾具一（241）通過(guò)Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一（231）沿靠近和遠(yuǎn)離放置臺(tái)（11）的方向滑動(dòng)，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二（232）與夾具二（242）連接，夾具二（242）通過(guò)Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二（232）沿靠近和遠(yuǎn)離放置臺(tái)（11）的方向滑動(dòng)，所述基架（230）上設(shè)置有保護(hù)套環(huán)（25），保護(hù)套環(huán)（25）與基架（230）之間存在空隙，夾具一（241）和夾具二（242）設(shè)置在保護(hù)套環(huán)（25）內(nèi)，所述基架（230）上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪（26），每個(gè)導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪（26）包括連接板（261）和多個(gè)輪體（262），輪體（262）轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接板（261）上，連接板（261）設(shè)置在基架（230）上，輪體（262）用于抵接在晶圓側(cè)壁上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)，其特征在于：所述X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（21）設(shè)置為直線電機(jī)，直線電機(jī)包括定子（211）和動(dòng)子（212），定子（211）設(shè)置在放置臺(tái)（11）上方，定子（211）與放置臺(tái)（11）平行，動(dòng)子（212）滑動(dòng)連接在定子（211）上靠近放置臺(tái)（11）的一側(cè)，動(dòng)子（212）與Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（22）連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)，其特征在于：所述Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)（22）包括基板（221）、主動(dòng)齒輪（222）、從動(dòng)齒輪（223）、帶體（224）和滑板（225），基板（221）固定在動(dòng)子（212）上，基板（221）與定子（211）垂直，基板（221）與放置臺(tái)（11）平行，主動(dòng)齒輪（222）和從動(dòng)齒輪（223）轉(zhuǎn)動(dòng)連接在基板（221）上，主動(dòng)齒輪（222）和從動(dòng)齒輪（223）的連線與基板（221）平行，主動(dòng)齒輪（222）和從動(dòng)齒輪（223）均與帶體（224）配合，滑板（225）滑動(dòng)連接在基板（221）上，滑板（225）的滑動(dòng)方向與基板（221）平行，滑板（225）與帶體（224）固定連接，主動(dòng)齒輪（222）上設(shè)置有自鎖電機(jī)（2221），自鎖電機(jī)（2221）通過(guò)主動(dòng)齒輪（222）帶動(dòng)帶體（224）轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使滑板（225）在基板（221）上往復(fù)移動(dòng)，基架（230）固定在滑板（225）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)，其特征在于：所述Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一（231）包括主動(dòng)輪一（2311）、從動(dòng)輪一（2312）、皮帶一（2313）和安裝板一（2314），主動(dòng)輪一（2311）和從動(dòng)輪一（2312）轉(zhuǎn)動(dòng)連接在基架（230）上，主動(dòng)輪一（2311）和從動(dòng)輪一（2312）的連線與基架（230）的長(zhǎng)度方向平行，皮帶一（2313）套設(shè)在主動(dòng)輪一（2311）和從動(dòng)輪一（2312）上，安裝板一（2314）滑動(dòng)連接在基架（230）上，安裝板一（2314）的滑動(dòng)方向與基架（230）長(zhǎng)度方向平行，安裝板一（2314）固定在皮帶一（2313）上。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)，其特征在于：所述分選機(jī)構(gòu)（3）兩側(cè)分別設(shè)置有挑選模組（31）和綁定模組（32），挑選模組（31）和綁定模組（32）用于放置晶圓，夾具一（241）通過(guò)Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一（231）滑動(dòng)并將晶圓插入挑選模組（31）和綁定模組（32）中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)，其特征在于：所述挑選模組（31）和綁定模組（32）連線長(zhǎng)度方向與定子（211）長(zhǎng)度方向平行。

說(shuō)明書： 一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本申請(qǐng)涉及晶圓分選機(jī)的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)。背景技術(shù)[0002] 晶圓是指制作硅半導(dǎo)體集成電路所用的硅晶片,晶圓分選機(jī)是用于分選晶粒的設(shè)備，晶圓分選機(jī)對(duì)晶粒進(jìn)行分選后，使加工質(zhì)量相近的晶粒能夠排列在一片空的晶圓環(huán)上，進(jìn)而使新形成的晶圓的光電特性更加穩(wěn)定，晶圓分選機(jī)能夠?qū)⒉煌木A移動(dòng)至不同的位置并收集。[0003] 相關(guān)的晶圓分選機(jī)包括箱體、夾持機(jī)構(gòu)、分選機(jī)構(gòu)、未分類片料匣和已分類空/滿盤料匣，箱體上開設(shè)有開口，箱體上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有門體，門體用于封堵箱體的開口并使箱體密閉，進(jìn)而減少灰塵進(jìn)入箱體，影響晶圓性能，夾持機(jī)構(gòu)和分選機(jī)構(gòu)設(shè)置在箱體內(nèi)，未分類片料匣和已分類空/滿盤料匣可拆卸連接在箱體內(nèi)，使用人員將散亂排布的晶圓放置在未分類片料匣中，將未分類片料匣設(shè)置在箱體中，夾持機(jī)構(gòu)能夠自動(dòng)移動(dòng)并夾持未分類片料匣中的晶圓，晶圓通過(guò)夾持機(jī)構(gòu)移動(dòng)至分選機(jī)構(gòu)上，分選機(jī)構(gòu)根據(jù)使用人員錄入的數(shù)據(jù)將散亂分布的晶粒挑出并設(shè)置在另一晶圓環(huán)上，從而使晶圓環(huán)上的晶粒加工質(zhì)量相近，完成分選。[0004] 上述中的相關(guān)技術(shù)方案存在以下缺陷：晶圓分選過(guò)程中，夾持機(jī)構(gòu)需要在箱體內(nèi)移動(dòng)，晶圓運(yùn)送所需時(shí)間較長(zhǎng)，分選效率較低。發(fā)明內(nèi)容[0005] 為了提升分選晶圓的效率，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N全自動(dòng)晶圓分選機(jī)。[0006] 本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N全自動(dòng)晶圓分選機(jī)采用如下的技術(shù)方案：[0007] 一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)，包括箱體，箱體內(nèi)設(shè)置有放置臺(tái)，放置臺(tái)上設(shè)置有用于分選晶粒的分選機(jī)構(gòu)，放置臺(tái)上設(shè)置有夾持機(jī)構(gòu)，夾持機(jī)構(gòu)上設(shè)置有夾具一和夾具二，夾具一和夾具二用于在箱體內(nèi)移動(dòng)并將晶圓移動(dòng)至分選機(jī)構(gòu)中，放置臺(tái)上可拆卸連接有未分類片料匣和已分類空/滿盤料匣，夾持機(jī)構(gòu)用于將未分類片料匣中的晶圓移動(dòng)至分選機(jī)構(gòu)中，夾持機(jī)構(gòu)用于將分選后的晶圓移動(dòng)至已分類空/滿盤料匣中。[0008] 通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)在箱體中設(shè)置放置臺(tái)，使未分類片料匣和已分類空/滿盤料匣能夠設(shè)置在放置臺(tái)上，通過(guò)在放置臺(tái)上設(shè)置分選機(jī)構(gòu)，使分選機(jī)構(gòu)能夠分選晶圓上的晶粒，分選后的晶圓根據(jù)加工質(zhì)量和光電特性放入不同的已分類空/滿盤料匣中，進(jìn)而起到分選晶圓的效果，通過(guò)在放置臺(tái)上設(shè)置夾持機(jī)構(gòu)，在夾持機(jī)構(gòu)上設(shè)置夾具一和夾具二，使夾持機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)夾具一和夾具二移動(dòng)，進(jìn)而使夾具一和夾具二均能夠夾持并輸送晶圓，夾持機(jī)構(gòu)能夠同時(shí)攜帶兩塊晶圓移動(dòng)，進(jìn)而減少移動(dòng)大量晶圓所需時(shí)間，達(dá)到提升晶圓分選效率的效果。[0009] 可選的，夾持機(jī)構(gòu)包括X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)、Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)、Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二，X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)懸空設(shè)置在放置臺(tái)上方，Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)連接在X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)上，X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)滑動(dòng)，Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)的滑動(dòng)方向與放置臺(tái)平行，Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)上設(shè)置有基架，Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)基架滑動(dòng)，基架的滑動(dòng)方向與放置臺(tái)平行，基架的滑動(dòng)方向與X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)滑動(dòng)方向垂直，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二設(shè)置在基架上，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一與夾具一連接，夾具一通過(guò)Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一沿靠近和遠(yuǎn)離放置臺(tái)的方向滑動(dòng)，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二與夾具二連接，夾具二通過(guò)Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二沿靠近和遠(yuǎn)離放置臺(tái)的方向滑動(dòng)。[0010] 通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)使X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)懸空設(shè)置在放置臺(tái)上方，使Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)連接在X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)上，使X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)在水平方向上往復(fù)移動(dòng)，通過(guò)在Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)上設(shè)置基架，使基架能夠通過(guò)X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)和Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)在放置臺(tái)上方移動(dòng)，通過(guò)在基架上設(shè)置Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二，從而使夾具一和夾具二能夠沿基架長(zhǎng)度方向往復(fù)移動(dòng)，進(jìn)而使夾具一和夾具二能夠靠近和遠(yuǎn)離放置臺(tái)移動(dòng)，達(dá)到夾取晶圓并上移的效果，此時(shí)X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)和Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)能夠移動(dòng)夾具一和夾具二上的晶圓。[0011] 可選的，X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)設(shè)置為直線電機(jī)，直線電機(jī)包括定子和動(dòng)子，定子設(shè)置在放置臺(tái)上方，定子與放置臺(tái)平行，動(dòng)子滑動(dòng)連接在定子上靠近放置臺(tái)的一側(cè)，動(dòng)子與Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)連接。[0012] 通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)在放置臺(tái)上方設(shè)置直線電機(jī)，使動(dòng)子與Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)連接，從而使Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)能夠沿定子長(zhǎng)度方向往復(fù)移動(dòng)，達(dá)到移動(dòng)夾具一和夾具二的效果。[0013] 可選的，Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括基板、主動(dòng)齒輪、從動(dòng)齒輪、帶體和滑板，基板固定在動(dòng)子上，基板與定子垂直，基板與放置臺(tái)平行，主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接在基板上，主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪的連線與基板平行，主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪均與帶體配合，滑板滑動(dòng)連接在基板上，滑板的滑動(dòng)方向與基板平行，滑板與帶體固定連接，主動(dòng)齒輪上設(shè)置有自鎖電機(jī)，自鎖電機(jī)通過(guò)主動(dòng)齒輪帶動(dòng)帶體轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使滑板在基板上往復(fù)移動(dòng)，基架固定在滑板上。[0014] 通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)在定子上連接基板，在基板上設(shè)置主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪，使用人員能夠通過(guò)自鎖電機(jī)控制主動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使帶體在基板上轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)在基板上滑動(dòng)連接滑板，使滑板與帶體連接，使用人員能夠通過(guò)控制帶體轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使滑板在基板上往復(fù)滑動(dòng)，起到移動(dòng)夾具一和夾具二的效果。[0015] 可選的，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一包括主動(dòng)輪一、從動(dòng)輪一、皮帶一和安裝板一，主動(dòng)輪一和從動(dòng)輪一轉(zhuǎn)動(dòng)連接在基架上，主動(dòng)輪一和從動(dòng)輪一的連線與基架的長(zhǎng)度方向平行，皮帶一套設(shè)在主動(dòng)輪一和從動(dòng)輪一上，安裝板一滑動(dòng)連接在基架上，安裝板一的滑動(dòng)方向與基架長(zhǎng)度方向平行，安裝板一固定在皮帶一上。[0016] 通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)在基架上設(shè)置主動(dòng)輪一和從動(dòng)輪一，使皮帶一套設(shè)在主動(dòng)輪一和從動(dòng)輪一上，進(jìn)而使帶體能夠在基架上轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)在基架上滑動(dòng)連接安裝板一，使夾具一固定連接在安裝板一上，從而使安裝板一能夠通過(guò)皮帶一在基架上滑動(dòng)，達(dá)到控制夾具一位置的效果。[0017] 可選的，基架上設(shè)置有保護(hù)套環(huán)，保護(hù)套環(huán)與基架之間存在空隙，夾具一和夾具二設(shè)置在保護(hù)套環(huán)內(nèi)。[0018] 通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)在基架上設(shè)置保護(hù)套環(huán)，使夾具一和夾具二設(shè)置在保護(hù)套環(huán)內(nèi)，進(jìn)而使保護(hù)套環(huán)起到保護(hù)晶圓的效果，當(dāng)夾具一夾持晶圓并移動(dòng)至保護(hù)套環(huán)內(nèi)時(shí)，保護(hù)套環(huán)能夠套設(shè)在晶圓外并保護(hù)晶圓，減少使用人員更換未分類片料匣和已分類空/滿盤料匣時(shí)撞到晶圓的幾率。[0019] 可選的，基架上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪，導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪包括連接板和多個(gè)輪體，輪體轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接板上，連接板設(shè)置在基架上，輪體用于抵接在晶圓側(cè)壁上。[0020] 通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)在基架上設(shè)置多個(gè)連接板，使輪體轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接板上，從而使夾具一和夾具二夾持晶圓時(shí)，晶圓的側(cè)壁能夠抵接在輪體上，使導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪起到限位作用，當(dāng)夾具一和夾具二將晶圓插入分選機(jī)構(gòu)并松開晶圓時(shí)，能夠使晶圓在導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪的作用下豎直下落，減少晶圓下落時(shí)歪斜的幾率。[0021] 可選的，分選機(jī)構(gòu)兩側(cè)分別設(shè)置有挑選模組和綁定模組，挑選模組和綁定模組用于放置晶圓，夾具一通過(guò)Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一滑動(dòng)并將晶圓插入挑選模組和綁定模組中。[0022] 通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)在分選機(jī)構(gòu)上設(shè)置挑選模組和綁定模組，使挑選模組能夠用于存放未分選的晶圓，夾持機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑽捶诌x的晶圓從未分類片料匣中取出，夾持機(jī)構(gòu)能夠通過(guò)直線移動(dòng)快速取出位于挑選模組和綁定模組上的晶圓環(huán)，達(dá)到提升效率的效果。[0023] 可選的，挑選模組和綁定模組連線長(zhǎng)度方向與定子長(zhǎng)度方向平行。[0024] 通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)使挑選模組和綁定模組連線長(zhǎng)度與定子長(zhǎng)度方向平行，當(dāng)夾持機(jī)構(gòu)需要更換綁定模組上的晶圓時(shí)，能夠通過(guò)動(dòng)子在定子上移動(dòng)完成，進(jìn)而減少Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)響應(yīng)，能夠提升夾持機(jī)構(gòu)更換晶圓動(dòng)作的效率。[0025] 綜上所述，本申請(qǐng)的有益技術(shù)效果為：[0026] 1.通過(guò)在箱體中設(shè)置放置臺(tái)，使未分類片料匣和已分類空/滿盤料匣能夠設(shè)置在放置臺(tái)上，通過(guò)在放置臺(tái)上設(shè)置分選機(jī)構(gòu)，使分選機(jī)構(gòu)能夠分選晶圓上的晶粒，分選后的晶圓根據(jù)加工質(zhì)量和光電特性放入不同的已分類空/滿盤料匣中，進(jìn)而起到分選晶圓的效果，通過(guò)在放置臺(tái)上設(shè)置夾持機(jī)構(gòu)，在夾持機(jī)構(gòu)上設(shè)置夾具一和夾具二，使夾持機(jī)構(gòu)能夠帶動(dòng)夾具一和夾具二移動(dòng)，進(jìn)而使夾具一和夾具二均能夠夾持并輸送晶圓，夾持機(jī)構(gòu)能夠同時(shí)攜帶兩塊晶圓移動(dòng)，進(jìn)而減少移動(dòng)晶圓所需時(shí)間，達(dá)到提升晶圓分選效率的效果；[0027] 2.通過(guò)在基架上設(shè)置保護(hù)套環(huán)，使夾具一和夾具二設(shè)置在保護(hù)套環(huán)內(nèi)，進(jìn)而使保護(hù)套環(huán)起到保護(hù)晶圓的效果，當(dāng)夾具一夾持晶圓并移動(dòng)至保護(hù)套環(huán)內(nèi)時(shí)，保護(hù)套環(huán)能夠套設(shè)在晶圓外并保護(hù)晶圓，減少使用人員更換未分類片料匣和已分類空/滿盤料匣時(shí)撞到晶圓的幾率；[0028] 3.通過(guò)在基架上設(shè)置多個(gè)連接板，使輪體轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接板上，從而使夾具一和夾具二夾持晶圓時(shí)，晶圓的側(cè)壁能夠抵接在輪體上，使導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪起到限位作用，當(dāng)夾具一和夾具二將晶圓插入分選機(jī)構(gòu)并松開晶圓時(shí)，能夠使晶圓在導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪的作用下豎直下落，減少晶圓下落時(shí)歪斜的幾率。附圖說(shuō)明[0029] 圖1是本申請(qǐng)實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。[0030] 圖2是本申請(qǐng)實(shí)施例的夾持機(jī)構(gòu)的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。[0031] 圖3是圖2中A部分的放大示意圖。[0032] 圖4是本申請(qǐng)實(shí)施例的夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。[0033] 圖5是本申請(qǐng)實(shí)施例的Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。[0034] 圖6是本申請(qǐng)實(shí)施例的Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。[0035] 圖7是圖6中A部分的放大示意圖。[0036] 圖8是本申請(qǐng)實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)電機(jī)一的安裝結(jié)構(gòu)示意圖。[0037] 附圖標(biāo)記：1、箱體；11、放置臺(tái)；12、門體；2、夾持機(jī)構(gòu)；20、架體；21、X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)；211、定子；212、動(dòng)子；22、Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)；221、基板；222、主動(dòng)齒輪；2221、自鎖電機(jī)；223、從動(dòng)齒輪；224、帶體；225、滑板；230、基架；231、Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一；2311、主動(dòng)輪一；2312、從動(dòng)輪一；2313、皮帶一；2314、安裝板一；2315、驅(qū)動(dòng)電機(jī)一；232、Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二；2321、主動(dòng)輪二；

2322、從動(dòng)輪二；2323、皮帶二；2324、安裝板二；2325、驅(qū)動(dòng)電機(jī)二；241、夾具一；242、夾具二；25、保護(hù)套環(huán)；26、導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪；261、連接板；262、輪體；3、分選機(jī)構(gòu)；31、挑選模組；311、凹槽一；32、綁定模組；321、凹槽二；4、未分類片料匣；5、已分類空/滿盤料匣；6、分類盤未滿盤料匣。

具體實(shí)施方式[0038] 以下結(jié)合附圖1?8對(duì)本申請(qǐng)作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。[0039] 本申請(qǐng)實(shí)施例公開一種全自動(dòng)晶圓分選機(jī)。參照?qǐng)D1和圖2，包括箱體1，箱體1用于豎直設(shè)置在地面上，箱體1中開設(shè)有空腔。箱體1側(cè)壁上開設(shè)有開口，箱體1上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有門體12，門體12能夠轉(zhuǎn)動(dòng)并封堵箱體1的開口，進(jìn)而使箱體1的空腔密閉，從而減少灰塵進(jìn)入箱體1中。箱體1中設(shè)置有放置臺(tái)11，放置臺(tái)11水平固定在箱體1內(nèi)。[0040] 參照?qǐng)D2和圖3，放置臺(tái)11上表面設(shè)置有分選機(jī)構(gòu)3，放置臺(tái)11上設(shè)置有一個(gè)挑選模組31和一個(gè)綁定模組32，挑選模組31和綁定模組32分別設(shè)置在分選機(jī)構(gòu)3的兩側(cè)。挑選模組31用于安裝待分選晶圓，待分選晶圓包括晶圓環(huán)和多個(gè)多種類混合分布的晶粒，晶圓環(huán)上開設(shè)有圓孔，晶粒排列分布在圓孔中，晶圓環(huán)上粘貼設(shè)置有藍(lán)膜，藍(lán)膜具有粘性，晶粒粘接在藍(lán)膜上。綁定模組32用于安裝無(wú)晶粒的晶圓環(huán)，分選機(jī)構(gòu)3可選用真空吸附裝置，分選機(jī)構(gòu)3能夠吸附待分選晶圓上的晶粒，并將晶粒移動(dòng)至綁定模組32上的晶圓環(huán)中，進(jìn)而使晶粒粘接在無(wú)晶粒的晶圓環(huán)中，從而使綁定模組32上的晶圓環(huán)中排列有加工質(zhì)量相近的晶粒，完成分選的目的。

[0041] 參照?qǐng)D1和圖2,放置臺(tái)11上表面設(shè)置有夾持機(jī)構(gòu)2，放置臺(tái)11上表面可拆卸連接有一個(gè)未分類片料匣4、一個(gè)已分類空/滿盤料匣5和多個(gè)分類盤未滿盤料匣6，未分類片料匣4用于放置未分揀的晶圓，已分類空/滿盤料匣5用于放置無(wú)晶粒的空的晶圓環(huán)。夾持機(jī)構(gòu)2能夠?qū)⑽捶謷木A和空的晶圓環(huán)取出并安裝在分選機(jī)構(gòu)3中，將散亂分布的晶圓中特定等級(jí)的晶粒安裝在空的晶圓環(huán)中。本實(shí)施例中可設(shè)置有六個(gè)分類盤未滿盤料匣6，夾持機(jī)構(gòu)

2能夠根據(jù)六種光電特性標(biāo)準(zhǔn)將晶粒挑出并安裝在空的晶圓環(huán)中,并分別將安裝有不同等級(jí)晶粒的晶圓環(huán)設(shè)置在分類盤未滿盤料匣6中。當(dāng)一個(gè)等級(jí)的晶粒分選完畢后，夾持機(jī)構(gòu)2將安裝有分選后的晶粒的晶圓環(huán)移動(dòng)至分類盤未滿盤料匣6中，并從已分類空/滿盤料匣5中取出第二張空的晶圓環(huán)，使分選機(jī)構(gòu)3能夠?qū)⑾乱坏燃?jí)的晶粒安裝在此晶圓環(huán)上。隨著分揀的進(jìn)行，已分類空/滿盤料匣5中空的晶圓環(huán)數(shù)量逐漸減少，此時(shí)分選機(jī)構(gòu)3不斷將未分選的晶圓中的晶粒安裝在不同晶圓環(huán)中，直至晶圓環(huán)上排列有同樣等級(jí)的晶粒并形成新的已分選的晶圓，夾持機(jī)構(gòu)2此時(shí)將分選后的晶圓放入已分類空/滿盤料匣5的空槽中，使已分類空/滿盤料匣5能夠收集分選后的晶圓，使用人員能夠持續(xù)更換已分類空/滿盤料匣5，進(jìn)而使空的晶圓環(huán)能夠持續(xù)放入并供夾持機(jī)構(gòu)2取用，同時(shí)使分選后的晶圓能夠取出并進(jìn)行下一步加工。隨著加工進(jìn)行，未分類片料匣4中的待分選晶圓逐漸分選完畢，使未分類片料匣4中的晶圓環(huán)中沒(méi)有晶粒，使用人員能夠?qū)⑽捶诸惼舷?取出并更換，使新的待分揀的晶圓能夠放入箱體1中，使分選機(jī)構(gòu)3能夠持續(xù)分選晶粒。

[0042] 參照?qǐng)D1和圖2，夾持機(jī)構(gòu)2懸吊在未分類片料匣4和已分類空/滿盤料匣5上方，夾持機(jī)構(gòu)2用于夾持未分類片料匣4中的晶圓并將待分選的晶圓插入至挑選模組31中。夾持機(jī)構(gòu)2用于夾持并移動(dòng)未分類片料匣4中的晶圓，使未分類片料匣4中的晶圓能夠安裝在挑選模組31上或移回至未分類片料匣4中，夾持機(jī)構(gòu)2能夠夾持并移動(dòng)分類盤未滿盤料匣6中的晶圓環(huán)，使無(wú)晶粒的晶圓環(huán)能夠安裝在綁定模組32上，當(dāng)無(wú)晶粒的晶圓環(huán)中安裝有足夠數(shù)量的晶粒后，夾持機(jī)構(gòu)2能夠?qū)⒕A環(huán)移動(dòng)至特定的已分類空/滿盤料匣5中。通過(guò)夾持機(jī)構(gòu)2重復(fù)上述過(guò)程，使未分類片料匣4中未分揀的晶粒能夠依照加工質(zhì)量排列在同一晶圓環(huán)中，并將晶圓環(huán)按加工質(zhì)量分類收集，從而完成分選。

[0043] 參照?qǐng)D4和圖5，夾持機(jī)構(gòu)2包括X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)21、Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)22和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一231和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二232。放置臺(tái)11上表面通過(guò)螺栓固定有兩個(gè)架體20，架體20相對(duì)設(shè)置在放置臺(tái)11上兩個(gè)相對(duì)的側(cè)邊處。X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)21水平設(shè)置在架體20上，X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)21兩端分別固定在一個(gè)架體20上，進(jìn)而使X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)21懸吊在放置臺(tái)11上方。X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)21包括直線模組，直線模組可選用直線電機(jī)，直線電機(jī)包括定子211和動(dòng)子212，定子211長(zhǎng)度方向上的兩端分別固定在架體20上，動(dòng)子212滑動(dòng)連接在定子

211上，動(dòng)子212位于定子211的下方。Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)22固定在動(dòng)子212上。使用人員能夠通過(guò)X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)21使Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)22在放置臺(tái)11上空移動(dòng)，進(jìn)而方便Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)22移動(dòng)至挑選模組31和綁定模組32上方并夾持晶圓。

[0044] 參照?qǐng)D4和圖5，Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)22包括基板221、主動(dòng)齒輪222、從動(dòng)齒輪223、帶體224和滑板225，基板221水平設(shè)置且固定連接在動(dòng)子212上。基板221的長(zhǎng)度方向與定子211的長(zhǎng)度方向垂直。主動(dòng)齒輪222和從動(dòng)齒輪223轉(zhuǎn)動(dòng)連接在基板221上，主動(dòng)齒輪222和從動(dòng)齒輪223的連線與基板221的長(zhǎng)度方向平行。帶體224套設(shè)在主動(dòng)齒輪222和從動(dòng)齒輪223上，帶體

224內(nèi)圈上開設(shè)有輪齒，主動(dòng)齒輪222和從動(dòng)齒輪223均與帶體224卡接。主動(dòng)齒輪222上設(shè)置有自鎖電機(jī)2221，自鎖電機(jī)2221設(shè)置為步進(jìn)電機(jī)，從而提升Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)的精度，自鎖電機(jī)

2221的殼體固定在基板221上，自鎖電機(jī)2221的輸出軸貫穿基板221并同軸連接在主動(dòng)齒輪

222上。使用人員通過(guò)控制自鎖電機(jī)2221正反轉(zhuǎn)，能夠使帶體224在基板221上通過(guò)主動(dòng)齒輪

222轉(zhuǎn)動(dòng)?；?25滑動(dòng)連接在基板221的下表面上，滑板225的滑動(dòng)方向與基板221的長(zhǎng)度方向平行?；?25通過(guò)粘接或卡接的方式固定連接在帶體224上，當(dāng)自鎖電機(jī)2221轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，滑板225能夠通過(guò)帶體224移動(dòng)，進(jìn)而起到使滑板225在基板221上沿基板221長(zhǎng)度方向往復(fù)移動(dòng)的效果。

[0045] 參照?qǐng)D6和圖7，滑板225上設(shè)置有基架230，基架230為矩形板結(jié)構(gòu)，基架230用于安裝Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一231和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二232，定子211和基板221的長(zhǎng)度方向均與基架230的長(zhǎng)度方向垂直。Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一231和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二232分別設(shè)置在基架230的兩個(gè)相對(duì)的表面上。Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一231和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二232的連線與定子211長(zhǎng)度方向平行。Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一231上設(shè)置有夾具一241，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二232上設(shè)置有夾具二242。夾具一241和夾具二242可選用手指氣缸。Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一231用于帶動(dòng)夾具一241在基架230上移動(dòng)，夾具一241在基架230上的滑動(dòng)方向與基架230長(zhǎng)度方向平行，夾具一241能夠通過(guò)X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)21、Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)22和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一231在放置臺(tái)11上方移動(dòng)，進(jìn)而起到夾持晶圓的效果。Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二232用于帶動(dòng)夾具二242在基架230上滑動(dòng)，夾具二242在基架230上的滑動(dòng)方向與基架230長(zhǎng)度方向平行，夾具二242能夠通過(guò)X軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)21、Y軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)22和Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二232在放置臺(tái)11上方移動(dòng)并夾持晶圓。

[0046] 參照?qǐng)D6和圖8，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一231包括主動(dòng)輪一2311、從動(dòng)輪一2312、皮帶一2313和安裝板一2314，主動(dòng)輪一2311和從動(dòng)輪一2312轉(zhuǎn)動(dòng)連接在基架230上，主動(dòng)輪一2311和從動(dòng)輪一2312的連線與基架230平行，皮帶一2313套設(shè)在主動(dòng)輪一2311和從動(dòng)輪一2312上，主動(dòng)輪一2311和從動(dòng)輪一2312為齒輪，皮帶一2313內(nèi)圈上開設(shè)有輪齒，主動(dòng)輪一2311和從動(dòng)輪一2312通過(guò)輪齒與皮帶一2313嚙合。主動(dòng)輪一2311上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)一2315，驅(qū)動(dòng)電機(jī)一2315設(shè)置為自鎖電機(jī)，自鎖電機(jī)設(shè)置為步進(jìn)電機(jī)。驅(qū)動(dòng)電機(jī)一2315的殼體固定在基架230上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)一2315的輸出軸同軸連接在主動(dòng)輪一2311上。安裝板一2314滑動(dòng)連接在基架230上，安裝板一2314的滑動(dòng)方向與基架230的長(zhǎng)度方向平行。安裝板一2314固定在皮帶一

2313上。使用人員通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)一2315正反轉(zhuǎn)，能夠使皮帶一2313通過(guò)主動(dòng)輪一2311轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使安裝板一2314在基架230上滑動(dòng)。安裝板一2314上固定連接多個(gè)夾具一241，夾具一241能夠通過(guò)安裝板一2314靠近或遠(yuǎn)離放置臺(tái)11，進(jìn)而起到夾取晶圓的效果。

[0047] 參照?qǐng)D7和圖8，Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)二232包括主動(dòng)輪二2321、從動(dòng)輪二2322、皮帶二2323和安裝板二2324，主動(dòng)輪二2321和從動(dòng)輪二2322轉(zhuǎn)動(dòng)連接在基架230上遠(yuǎn)離主動(dòng)輪一2311的一側(cè)表面上，主動(dòng)輪二2321和從動(dòng)輪二2322的連線與基架230的長(zhǎng)度方向平行。皮帶二2323套設(shè)在主動(dòng)輪二2321和從動(dòng)輪二2322上。主動(dòng)輪二2321和從動(dòng)輪二2322為齒輪，皮帶二2323內(nèi)圈上開設(shè)有輪齒，主動(dòng)輪二2321和從動(dòng)輪二2322均與皮帶二2323嚙合?；?30上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)二2325，驅(qū)動(dòng)電機(jī)二2325設(shè)置為自鎖電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)二2325的殼體固定在基架230上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)二2325的輸出軸同軸連接在主動(dòng)輪二2321上。安裝板二2324滑動(dòng)連接在基架230上，安裝板二2324的滑動(dòng)方向與基架230長(zhǎng)度方向平行。安裝板二2324固定在皮帶二2323上，使用人員能夠通過(guò)驅(qū)動(dòng)電機(jī)二2325控制皮帶二2323轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而使固定在皮帶二2323上的安裝板二2324能夠在基架230上往復(fù)移動(dòng)。安裝板二2324上遠(yuǎn)離夾具一241的一側(cè)表面設(shè)置多個(gè)夾具二242，夾具二242能夠通過(guò)安裝板二2324靠近或遠(yuǎn)離放置臺(tái)11，進(jìn)而起到夾取晶圓的效果。

[0048] 參照?qǐng)D4，基架230上固定連接有保護(hù)套環(huán)25，保護(hù)套環(huán)25套設(shè)在基架230外，保護(hù)套環(huán)25和基架230之間存在空隙，夾具一241和夾具二242設(shè)置在保護(hù)套環(huán)25內(nèi)。保護(hù)套環(huán)25通過(guò)焊接固定在基架230上。保護(hù)套環(huán)25起到保護(hù)晶圓的效果，當(dāng)夾具一241和夾具二242夾住晶圓并上移時(shí)，晶圓能夠位于保護(hù)套環(huán)25之中，此時(shí)使用人員更換未分類片料匣4和已分類空/滿盤料匣5時(shí)，能夠減少撞擊到晶圓的幾率，進(jìn)而保護(hù)晶圓。[0049] 參照?qǐng)D4，基架230上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪26，導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪26包括連接板261和多個(gè)輪體262，每個(gè)連接板261上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)輪體262，輪體262的連線與基架230的長(zhǎng)度方向平行。導(dǎo)向轉(zhuǎn)輪26設(shè)置在基架230兩相對(duì)的表面上，夾具一241和夾具二242兩側(cè)均設(shè)置有連接板261，當(dāng)夾具一241和夾具二242夾持晶圓上移時(shí)，晶圓能夠在兩個(gè)連接板261之間豎直移動(dòng)，此時(shí)晶圓兩側(cè)壁抵接在輪體262上。輪體262起到導(dǎo)向和限位作用，輪體262能夠卡住晶圓并使晶圓位于基架230上固定位置，當(dāng)夾具一241和夾具二242松開晶圓，使晶圓插入挑選模組31時(shí)，輪體262能夠卡住晶圓，從而減少夾持晶圓時(shí)晶圓位置偏移的幾率，進(jìn)而減少晶圓歪斜插入挑選模組31中的幾率，使晶圓能夠順利插入挑選模組31、綁定模組32、未分類片料匣4和已分類空/滿盤料匣5中。[0050] 參照?qǐng)D3，挑選模組31上開設(shè)有凹槽一311，晶圓用于插入凹槽一311中，進(jìn)而使晶圓能夠固定在挑選模組31上。凹槽一311的長(zhǎng)度方向與放置臺(tái)11垂直，夾具一241能夠通過(guò)Z軸動(dòng)力機(jī)構(gòu)一231豎直移動(dòng)并將晶圓插入凹槽一311中。綁定模組32上開設(shè)有凹槽二321，凹槽二321的開設(shè)方向與凹槽一311的開設(shè)方向平行。[0051] 本申請(qǐng)實(shí)施例的實(shí)施原理為：通過(guò)在箱體1中設(shè)置放置臺(tái)11，在放置臺(tái)11上設(shè)置分選機(jī)構(gòu)3，進(jìn)而使分選機(jī)構(gòu)3能夠分選插在綁定模組32中的晶圓，通過(guò)在放置臺(tái)11上設(shè)置夾持機(jī)構(gòu)2，在夾持機(jī)構(gòu)2上設(shè)置夾具一241和夾具二242，從而使夾具一241和夾具二242均能夠在三個(gè)自由度上自由移動(dòng)并夾持晶圓，夾具一241和夾具二242均能夠夾持晶圓環(huán)，從而使夾持機(jī)構(gòu)2能夠同時(shí)攜帶兩片晶圓環(huán)移動(dòng)，進(jìn)而提升夾持機(jī)構(gòu)2移動(dòng)晶圓的效率。[0052] 本具體實(shí)施方式的實(shí)施例均為本申請(qǐng)的較佳實(shí)施例，并非依此限制本申請(qǐng)的保護(hù)范圍，故：凡依本申請(qǐng)的結(jié)構(gòu)、形狀、原理所做的等效變化，均應(yīng)涵蓋于本申請(qǐng)的保護(hù)范圍之內(nèi)。