本發(fā)明公開了一種高純度高強高導(dǎo)銅基靶材及其制備方法,原料按照重量份數(shù)比為:高純銀粉0.1~1.0份、
高純銅銀鍶合金粉1~10份、余量為銅粉99~99.9份,銀粉+銅粉總共100份;其中:銅銀鍶合金粉合金中銀的含量為0.1~1.0%,鍶的含量為5~20ppm,余量為銅。本發(fā)明采用
粉末冶金的方法對銅粉和銀粉進行冷等靜壓制坯,可確保銅和銀的比例保持一致,又可以避免熔煉過程中發(fā)生銀的偏析。本發(fā)明提出的制備方法,在制備高純坯錠之前先進行多道次區(qū)域熔煉獲得合金母坯,可保證后續(xù)靶材成品的高純度。
聲明:
“高純度高強高導(dǎo)銅基靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)