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真空抽取尾料進行定向凝固提純多晶硅的方法及設備

1159   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-18 14:33:09
本發(fā)明屬于冶金提純技術領域,特別涉及一種取尾料進行定向凝固提純多晶硅的方法及設備。該方法是在惰性氣體中,將硅料熔化形成硅熔體保溫;進行定向凝固;待凝固完成85~90%時,停止拉錠,將石英管伸入剩余硅熔體中,之后用真空裝置對石英管另一端抽真空,剩余硅熔體在壓力差作用下進入石英管中,繼續(xù)向下拉錠,待坩堝離開加熱區(qū)后,將尾料收集箱伸至石英管正下方;切斷電源,停止加熱,石英管脹裂后隨尾料下落至尾料收集箱中,坩堝得到的鑄錠為高純硅鑄錠。本發(fā)明防止了雜質(zhì)的反擴散,減少了工藝,提高了鑄錠的出成率,在凝固結(jié)束階段實現(xiàn)雜質(zhì)富集區(qū)的直接分離,該設備改造安裝方便,操作簡單,能有效去除鑄錠尾部富集的雜質(zhì),節(jié)約了生產(chǎn)周期和成本。
聲明:
“真空抽取尾料進行定向凝固提純多晶硅的方法及設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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