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多晶硅鑄錠用提純爐

1014 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:35:27

本實用新型提出了一種多晶硅鑄錠用提純爐，包括：導熱筒體；導熱筒體外繞有螺旋盤管式加熱電極；螺旋盤管式加熱電極外套有爐體；爐體與螺旋盤管式加熱電極之間填充有保溫材料；導熱筒體內(nèi)設置有坩堝；爐體外壁上設置有抽真空裝置；離心裝置設于爐體下方，并與坩堝通過離心裝置的主軸固定連接。本實用新型中導熱筒體及其外圍的螺旋盤管式加熱電極能夠提高加熱效果，使得爐體內(nèi)溫度均勻，節(jié)省導熱筒體空間，提高空間利用率；通過采用離心裝置對多晶硅進行提純，提高了晶硅太陽能對多晶硅純度的要求。實驗結果表明，采用本實用新型的提純爐得到的多晶硅中磷在5ppm以下，硼在0.3ppm以下，符合晶硅太陽能對多晶硅純度的要求。

聲明：

“多晶硅鑄錠用提純爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)