一種氮化?凈化去除冶金硅中硼雜質(zhì)的方法,屬于冶金材料領(lǐng)域。本發(fā)明向冶金級(jí)硅熔體中加入氮化劑,氮化劑的加入可將硅熔體中的硼雜質(zhì)轉(zhuǎn)化為氮化物顆粒,而后對(duì)氮化后的硅熔體施加電磁力將氮化物顆粒向硅熔體周圍聚集,再將硅熔體和氮化物顆粒進(jìn)行強(qiáng)制冷卻并分離,并利用上述分離出的富含氮化物顆粒的
多晶硅生產(chǎn)氮化硅;由于氮化物顆粒與硅熔體之間存在明顯的導(dǎo)電率差異,因此在電磁力的作用下,氮化物顆粒會(huì)富集至熔體周圍,從而實(shí)現(xiàn)硼雜質(zhì)和硅熔體的有效分離;此外,將富含氮化物顆粒的多晶硅粉碎,加入氯化銨并在流動(dòng)性N
2氣氛下氮化處理得到氮化硅產(chǎn)物;利用富含氮化物的多晶硅,實(shí)現(xiàn)資源的高效利用,提高技術(shù)經(jīng)濟(jì)性。
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“氮化-凈化去除冶金硅中硼雜質(zhì)的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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