本發(fā)明涉及半導(dǎo)體用高純鉭靶材的
粉末冶金制備方法,尤其是一種用粉末冶金法制備高性能鉭靶材的方法。其特點(diǎn)是,包括如下步驟:(1)將要燒結(jié)的鉭粉末裝入模具中;(2)將模具放入電火花燒結(jié)爐中對粉末進(jìn)行放電等離子燒結(jié);(3)燒結(jié)結(jié)束后,冷卻至不超過160℃后出爐,脫模;(4)對得到的鉭靶坯機(jī)械加工成所需尺寸即可。采用本發(fā)明的方法可以得到粒度均勻、無織構(gòu)的內(nèi)部組織,提高靶材性能,本發(fā)明方法還具有燒結(jié)溫度低,可快速燒結(jié)出致密鉭靶材,靶材內(nèi)部晶粒均勻細(xì)小,無擇優(yōu)取向等特點(diǎn)。
聲明:
“用粉末冶金法制備高性能鉭靶材的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)