本發(fā)明一種
多晶硅熔煉的復合式加熱方法及裝置屬于用物理冶金技術(shù)提純多晶硅的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種利用感應線圈和石墨加熱器復合加熱的方式熔煉多晶硅的方法及裝置。本方法同時采用感應加熱和輻射加熱兩種方式對加熱區(qū)進行復合式加熱,使硅料熔化并進行熔煉,通過拉錠裝置的運動使熔體脫離加熱區(qū),實現(xiàn)定向凝固。該裝置由真空蓋、真空圓桶構(gòu)成裝置的外殼,真空圓桶的內(nèi)腔即為真空室,真空室內(nèi)裝有進行感應加熱的感應線圈和進行輻射加熱的石墨加熱器。本發(fā)明有效地利用了感應加熱的高效性和輻射加熱的穩(wěn)定性,保證了熔煉過程的穩(wěn)定,減小了能耗,提高了加熱效率,且該方法簡單易行,適合大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
聲明:
“多晶硅熔煉的復合式加熱方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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