本發(fā)明提供了一種磁控濺射鍍膜用鉻管靶材的綁定方法。該方法包括在鉻管靶材的背管外表面采用電鍍工藝制備金屬涂層作為綁定層;利用熱等靜壓工藝使鉻管靶材層通過綁定層與背管達到冶金結合,實現(xiàn)鉻管靶材的綁定。本發(fā)明所述的鉻管靶材的綁定方法可以使鉻管靶材層通過綁定層與背管實現(xiàn)冶金結合,把鉻管靶材層在濺射鍍膜過程中產生的熱量及時傳遞到背管內冷卻,防止鉻管靶材層出現(xiàn)開裂,保證濺射鍍膜順利進行。
聲明:
“鉻管靶材的綁定方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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