本發(fā)明屬于冶金法提純
多晶硅領(lǐng)域。一種真空感應(yīng)熔煉去除硅粉中磷及金屬雜質(zhì)的方法,首先,在高真空狀態(tài)下,利用感應(yīng)加熱方式熔煉硅粉,去除多晶硅中的磷雜質(zhì),然后進(jìn)行拉錠,利用定向凝固技術(shù)將硅粉中的金屬雜質(zhì)去除。本發(fā)明方法簡單,同時應(yīng)用真空感應(yīng)熔煉和定向凝固技術(shù)來去除多晶硅中的磷及金屬雜質(zhì),實現(xiàn)了硅粉的熔煉,除雜效果良好,去除效率高,有效地利用了感應(yīng)線圈加熱溫度高的特點,方法簡單易行,集成了除磷和除金屬的雙重效果,產(chǎn)量大,適合大規(guī)模生產(chǎn)工業(yè)生產(chǎn),提純效果穩(wěn)定。
聲明:
“真空感應(yīng)熔煉去除硅粉中磷及金屬雜質(zhì)的方法及設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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