本發(fā)明公開了一種加熱用基板、加熱板、濕化器及其加工方法,包括基板本體,在所述基板本體表面設(shè)有一層經(jīng)表面陶瓷化處理得到的氧化物陶瓷層。本發(fā)明的加熱用基板采用微弧氧化工藝在基板上原位生成一層
氧化鋁陶瓷層,該陶瓷層與鋁基板之間達(dá)到冶金結(jié)合,附著力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于采用厚膜工藝制成的介質(zhì)導(dǎo)熱膜層與鋁基板之間的附著力,耐冷熱沖擊性能極佳;另外,氧化陶瓷層的熱導(dǎo)率高,基板與氧化物陶瓷層界面間的熱損失小,降低了溫度梯度,極大提高了加熱板的加熱效率和溫度控制響應(yīng)的速度。
聲明:
“加熱用基板、加熱板、濕化器及其加工方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)