本發(fā)明公開了一種提高Al₂O₃陶瓷與鎳基合金焊接性能的表面處理方法，包含以下步驟：(1)采用Ni?Ti合金靶材，利用雙輝等離子表面冶金方法在鎳基合金表面制備Ni?Ti合金層；所述Ni?Ti合金層包括Ni?Ti沉積層及互擴散層；(2)利用離子注入方法在Al₂O₃陶瓷表面注入Ti離子；(3)將步驟(1)得到的經(jīng)雙輝等離子表面冶金方法處理得到的鎳基合金及步驟(2)得到的經(jīng)表面處理的Al₂O₃陶瓷，在真空擴散焊設備中實現(xiàn)焊接。本發(fā)明可實現(xiàn)Al₂O₃陶瓷與鎳基合金的真空擴散焊接，大幅度提高真空擴散焊在Al₂O₃陶瓷/鎳基合金焊接工藝中的應用。