本發(fā)明提供一種制備高純納米硅粉的方法及其設(shè)備系統(tǒng),它是一種采用化學(xué)提純法制備為太陽能級(jí)多晶硅的生產(chǎn)提供高質(zhì)量的硅原料的方法。本方法使用冶金級(jí)硅為原料,通過粉碎、研磨、干燥獲得含水量低于3%、粒度為50～100NM的硅粉物料,經(jīng)兩次酸浸、清洗、干燥,獲得高純度納米硅粉,其中硅的純度為99.99%以上。此外,本發(fā)明還給出了適用于上述方法的設(shè)備系統(tǒng),主要由氣流粉碎機(jī)、納米研磨機(jī)、噴霧干燥設(shè)備、計(jì)量加料裝置、反應(yīng)釜、陶瓷膜洗滌設(shè)備、提純物料收集器等構(gòu)成,該設(shè)備系統(tǒng)具有簡(jiǎn)單、安全、耗電量小、生產(chǎn)成本低的優(yōu)勢(shì);且設(shè)備自動(dòng)化程度高,人體接觸物料幾率低,有利于人體健康;易實(shí)現(xiàn)大規(guī)模、工業(yè)化生產(chǎn),產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定。