本發(fā)明公開(kāi)了一種細(xì)晶粒平面鉬靶材的生產(chǎn)方法,該方法為:一、采用
粉末冶金燒結(jié)制備鉬板坯;二、對(duì)鉬板坯進(jìn)行8道次以上軋制,得到鉬板材,每道次軋制的加熱溫度為850℃~1000℃;三、對(duì)鉬板材進(jìn)行熱處理,隨爐冷卻后得到晶粒尺寸不大于100μm,平均晶粒尺寸為40μm~80μm的細(xì)晶粒鉬靶材。本發(fā)明的方法簡(jiǎn)單高效,設(shè)備來(lái)源廣泛,對(duì)環(huán)境無(wú)污染,性能可靠,可批量化生產(chǎn),生產(chǎn)的產(chǎn)品性能穩(wěn)定可靠,節(jié)能高效,可滿足各種規(guī)格和單重板材的生產(chǎn)。采用本發(fā)明的方法生產(chǎn)的平面鉬靶材晶粒組織均勻、細(xì)小,平均晶粒尺寸為40μm~80μm,最大晶粒尺寸不大于100μm。
聲明:
“細(xì)晶粒平面鉬靶材的生產(chǎn)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)