本發(fā)明公開一種以廢棄物微硅粉為原料制備高純硅的方法，屬于硅材料制備技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明所述方法利用硅冶金工業(yè)煙塵廢棄物微硅粉為原料，經(jīng)酸蝕預(yù)處理后與鎂粉進(jìn)行球磨混料，自然干燥后得Mg@SiO₂?NPs包覆型反應(yīng)物料；將處理后的樣品置于密封石墨坩堝內(nèi)，轉(zhuǎn)移至保護(hù)性氣體的管式爐中，保溫一段時間后，經(jīng)酸蝕、水洗，干燥后得多孔硅粉末。將多孔硅粉末分散在混合酸蝕液中，水浴加熱后真空抽濾，反復(fù)洗滌至濾液為中性后，烘干得高純多孔晶硅。本發(fā)明通過對微硅粉的簡單預(yù)處理后，與鎂粉球磨混料，經(jīng)鎂熱反應(yīng)實(shí)現(xiàn)了較高的還原程度，同時經(jīng)兩道酸蝕處理后，制備得了高純多孔晶硅，工藝簡單，成本低廉，實(shí)現(xiàn)了對微硅粉回收的高附加值利用。