本發(fā)明公開了一種多級壓力快速燒結(jié)爐及其使用工藝,涉及冶金技術(shù)及
芯片封裝互連技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的的多級壓力快速燒結(jié)爐摒棄了傳統(tǒng)燒結(jié)爐使用抽氣裝置抽除爐內(nèi)空氣,創(chuàng)新性地提出了通過液壓系統(tǒng)直接往燒結(jié)爐內(nèi)通液壓油的方式排除燒結(jié)爐內(nèi)空氣的方法,通過使用液體(液壓油)作為力傳導(dǎo)介質(zhì)不僅可以使樣品承受穩(wěn)定壓力,避免加壓過程中樣品燒結(jié)層的破壞,且液體的導(dǎo)熱率遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于氣體,能實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)快速升溫,且本發(fā)明的多級壓力快速燒結(jié)爐可靈活放置多個工作臺,能夠?qū)崿F(xiàn)同時對多個樣品進(jìn)行燒結(jié),并且通過節(jié)流閥,能使多個液壓腔的壓力從上至下依次遞減,從而實(shí)現(xiàn)了對不同壓力需求的多樣品進(jìn)行多級壓力快速燒結(jié)。
聲明:
“多級壓力快速燒結(jié)爐及其使用工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)