本發(fā)明提供了一種鉭靶材的制備工藝,包括以下步驟:A),將鉭粉進(jìn)行等靜壓成型,得到鉭坯;B),將所述鉭坯進(jìn)行燒結(jié),將燒結(jié)得到的鉭坯進(jìn)行軋制,將軋制得到的鉭坯進(jìn)行熱處理,得到鉭靶材。本發(fā)明通過
粉末冶金的方法制得了鉭靶材加工坯料,其優(yōu)點(diǎn)是內(nèi)部組織細(xì)小均勻,并得到了無織構(gòu)的內(nèi)部組織;再通過壓力加工工藝與熱處理工藝,獲得了細(xì)小且均勻一致的內(nèi)部組織,得到了滿足高端濺射機(jī)臺使用的鉭靶材要求。
聲明:
“鉭靶材的制備工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)