本發(fā)明公開了一種濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法,包括1)取
粉末冶金燒結(jié)鉬板坯,加熱至1485~1495℃,以48~52m/min的軋制速度進行二火次六道次熱軋得鉬板A;2)取鉬板A,以38~42m/min的軋制速度進行三道次冷軋,退火得鉬板B;3)取鉬板B加熱至845~855℃,以90~100m/min的軋制速度進行軋制,后進行平整,即得。本發(fā)明的軋制方法,所得鉬板帶成品規(guī)格較大,純度高,密度大,晶粒間隙小,致密度均勻,平均晶粒尺寸小,各向異性小晶粒均勻,表面平直度高,具有優(yōu)異的表面質(zhì)量和使用性能,滿足了大型化和高精細(xì)化LCD面板制造用濺射鉬靶材對規(guī)格和使用性能的要求,適合推廣應(yīng)用。
聲明:
“濺射靶材用大單重寬幅鉬板帶的軋制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)