一種能夠?qū)﹄x子的質(zhì)量數(shù)加以顯示、控制和 準(zhǔn)確鎖定的裝置。其鎖定精度在1-75a·m·u 范圍內(nèi)為±0.2a·m·u:在75-122a·m·u 范圍內(nèi)為±0.3a·m·u,從而能作到雙電荷、 三電荷離子的注入鎖定。將它安裝在離子注入機 上,能夠保證離子注入時摻雜的純度、精密度和 重復(fù)精度,有效地提高了集成電路
芯片的成品率。 該裝置還可用于需要對離子質(zhì)量數(shù)進行監(jiān)控和鎖 定的冶金、金屬加工以及超導(dǎo)研究等方面。
聲明:
“離子質(zhì)量數(shù)監(jiān)控及鎖定裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)