本實用新型涉及高真空油擴散泵,具體地說是一種五級金屬直腔型高真空 油擴散泵。它包括泵體,設(shè)置在泵體內(nèi)泵芯、油室和噴射嘴,位于泵體外面、 底部的加熱器;泵體為直容腔;泵芯包括一級導(dǎo)流管及其一級噴嘴、二級導(dǎo)流 管及其二級噴嘴、三級導(dǎo)流管及其三級噴嘴、四級導(dǎo)流管及其四級噴嘴,二級 導(dǎo)流管、三級導(dǎo)流管和四級導(dǎo)流管與油室連接,一級導(dǎo)流管裝在二級導(dǎo)流管的 上面;二級噴嘴、三級噴嘴和四級噴嘴的間隙為固定間隙。它結(jié)構(gòu)簡單,制作 容易,顯著提高高真空油擴散泵的抽氣速率、拓寬抽氣范圍,氣密性高,焊接 變形小,提高工作效率;能獲得10-2~10-6Pa高真空和超高真空環(huán)境。廣泛用于 航空航天、原子能、真空冶金、熱處理、鍍膜、化工等領(lǐng)域。
聲明:
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