本發(fā)明涉及一種鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)的在線監(jiān)測(cè)設(shè)備，包括顏色分析裝置，和/或溫度測(cè)試裝置，以及數(shù)據(jù)處理反饋系統(tǒng)，顏色分析裝置包括顏色探測(cè)頭，溫度測(cè)試裝置包括測(cè)溫探頭。鈣鈦礦太陽能電池基片放置在真空密封艙內(nèi)進(jìn)行蒸鍍加工生產(chǎn)，密封艙內(nèi)設(shè)置有被蒸發(fā)控制系統(tǒng)控制的蒸發(fā)源，顏色探測(cè)頭和測(cè)溫探頭分別對(duì)準(zhǔn)鈣鈦礦太陽能電池基片表面或背面區(qū)域，數(shù)據(jù)處理反饋系統(tǒng)的分析數(shù)據(jù)反饋至蒸發(fā)控制系統(tǒng)。本發(fā)明還提供一種鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)的在線監(jiān)測(cè)設(shè)備的監(jiān)測(cè)方法。本發(fā)明通過監(jiān)測(cè)鈣鈦礦薄膜生產(chǎn)過程中的各類性能參數(shù)，控制其反應(yīng)進(jìn)程，提高各批次鈣鈦礦薄膜生產(chǎn)的重復(fù)性。