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鈣鈦礦紅外光電晶體管及其制備方法

681   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-01 00:30:12
本發(fā)明實施例提供一種鈣鈦礦紅外光電晶體管及其制備方法,包括:基礎(chǔ)襯底;源漏金屬電極沉積于基礎(chǔ)襯底上表面;金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜和源漏金屬電極在同一平面上;電荷傳輸界面層將圖形化的有機(jī)無機(jī)雜化紅外探測鈣鈦礦材料層與源漏金屬電極、金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜分隔開;圖形化的有機(jī)無機(jī)雜化紅外探測鈣鈦礦材料層完全覆蓋于電荷傳輸界面層上、位于金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜正上方,并且投影面積等于金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜;鈍化層將所述電荷傳輸界面層、圖形化的有機(jī)無機(jī)雜化紅外探測鈣鈦礦材料層全部覆蓋,投影面積等于基礎(chǔ)襯底;疏水層薄膜覆蓋除金屬氧化物半導(dǎo)體薄膜外的所有鈣鈦礦紅外光晶體導(dǎo)管器件部分。
聲明:
“鈣鈦礦紅外光電晶體管及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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