本實(shí)用新型屬于氮化硅制備裝置領(lǐng)域,尤其涉及一種氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐。氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐,包括水平放置的爐體及與爐體連接的抽真空裝置,爐體一端與封蓋活動(dòng)連接,爐體內(nèi)設(shè)有燒結(jié)箱,爐體外設(shè)有氮?dú)夤?,氮?dú)夤尥ㄟ^第一管道與燒結(jié)箱連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,爐中放置、取出匣缽時(shí)方便且高效,安全性高。
聲明:
“氮化硅用臥式真空燒結(jié)爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)