采用真空燒結(jié)工藝制備金屬鎢及釩鎢合金靶材,制備工藝流程步驟依次為:選取純度≥99.95%,粒度≤5μm的金屬鎢粉或釩鎢合金粉為原料,使用造粒設(shè)備將其制成1~3mm粒子,填入模具內(nèi)振實;等靜壓壓制成型,真空燒結(jié)完成后,靜置冷卻獲得靶材成品;粉體先制粒后等靜壓燒結(jié),工藝簡單易行,操作方便,易控制;制備所得的靶材濺射性能優(yōu)良,雜質(zhì)少,靶材均勻性好,穩(wěn)定性高。滿足熱致變色應(yīng)用,也適用于光學(xué)鍍膜。
聲明:
“采用真空燒結(jié)工藝制備金屬鎢及釩鎢合金靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)