本實(shí)用新型公開了一種臥式碳化硅真空燒結(jié)爐外爐體結(jié)構(gòu),它包括水平設(shè)置在兩個底座上的外主爐體,以及通過連接件密封扣裝在外主爐體兩端端口處的密封門;所述外主爐體整體為夾套式結(jié)構(gòu),外主爐體的上、下兩側(cè)分別設(shè)置有進(jìn)水口和出水口,在外主爐體后部以及前部中心位置分別設(shè)置有抽真空連接口和負(fù)壓真空表;在外主爐體底部均布設(shè)置有多根用于支撐連接內(nèi)爐體的連通管;所述進(jìn)水口連接有筒式過濾器,筒式過濾器通過管路與設(shè)置有循環(huán)水泵的水箱的出水口連接,出水口通過管路與水箱的回水口連接;所述抽真空連接口與抽
真空泵連接。
聲明:
“臥式碳化硅真空燒結(jié)爐外爐體結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)