本發(fā)明屬于
復(fù)合材料制造技術(shù),涉及一種化學(xué)氣相沉積裝置的改進(jìn)。它包括惰性氣體管路1、進(jìn)氣管12、可編程控制器6,其特征在于,有一個(gè)封閉的加熱裝置8,混合罐10安裝在加熱裝置8的內(nèi)腔中;有一個(gè)由載氣管路5、氣體質(zhì)量流量控制器3、固態(tài)蒸發(fā)器9、壓力表4和連接管14組成的氣路,固態(tài)先驅(qū)體放置在固態(tài)蒸發(fā)器9內(nèi)。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了化學(xué)氣相沉積過(guò)程的全自動(dòng)控制;提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積固態(tài)先驅(qū)體供給設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)