形成超細(xì)粒 子薄膜的方法,包括以下步 驟:在真空下設(shè)置基體,該 基體具有帶底孔、通孔、或 槽;在孔,通孔或槽的內(nèi)壁 表面上應(yīng)用超細(xì)粒子的懸 浮微粒,所述懸浮微粒在高 于102pa的壓力下分散和飄浮在氣體中;以及懸浮微粒擴(kuò)散和 吸附到內(nèi)壁表面上。用于形成超細(xì)粒子薄膜的裝置,包括:懸浮 微粒的發(fā)生裝置;支承機(jī)構(gòu);加熱機(jī)構(gòu);壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu);薄膜形成 容器;以及真空系統(tǒng)。
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