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鈣鈦礦薄膜光電晶體管及其制備方法

874   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-01 00:30:18
本發(fā)明實(shí)施例提供一種鈣鈦礦薄膜光電晶體管及其制備方法,所述鈣鈦礦薄膜光電晶體管包括:覆蓋有二氧化硅的硅襯底,所述硅襯底上表面的中間部分覆蓋有金屬氧化物層,所述金屬氧化物層上的兩端鍍有源漏金屬電極,中間為有機(jī)無機(jī)雜化鈣鈦礦層,所述硅襯底的上方設(shè)有一層鈍化層,所述的鈍化層將所述金屬氧化層、所述有機(jī)無機(jī)雜化鈣鈦礦材料層全部覆蓋。本發(fā)明可以將金屬氧化物半導(dǎo)體與有機(jī)無機(jī)雜化鈣鈦礦相結(jié)合,并且制備工藝簡單,器件成功率高,具有響應(yīng)快速、寬光譜光探測的極大潛力。
聲明:
“鈣鈦礦薄膜光電晶體管及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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