本發(fā)明提供一種有超細(xì)晶組織的長(zhǎng)壽命銅錳基合金靶材及其加工方法,有超細(xì)晶組織的長(zhǎng)壽命銅錳基合金靶材的成分為銅、錳、鎳和鈷,具體加工方法為:將銅粉、錳粉、鎳粉和鈷粉混合均勻后,經(jīng)冷等靜壓壓成塊狀,真空燒結(jié)熔煉,得到銅錳基合金鑄錠;將銅錳基合金鑄錠熱鍛開(kāi)坯,進(jìn)行60?90%冷軋變形,再在大氣或者真空條件下經(jīng)過(guò)400?600℃再結(jié)晶熱處理,保溫2?3h,退火處理,得到原始坯料;對(duì)原始坯料使用攪拌摩擦焊加工進(jìn)行晶粒細(xì)化,得到有超細(xì)晶組織的長(zhǎng)壽命銅錳基合金靶材。本發(fā)明制備的有超細(xì)晶組織的長(zhǎng)壽命銅錳基合金靶材中平均晶粒尺寸小于5μm,壽命不低于3000kwh,且制備方法簡(jiǎn)單,成本低廉,適合大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。
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“有超細(xì)晶組織的長(zhǎng)壽命銅錳基合金靶材及其加工方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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