一種高折射率導電薄膜材料鈦氧化物,其化學式為TiOx,其中x在1.68—1.80之間。制備方法,包括:將原料鈦氧化物和Ti按TiOx配料,其中x在1.68—1.80之間,混合均勻;采用熱壓成型或冷壓成型方式成型,制成所需的形狀;將材料放于坩堝或專門的工裝中,轉移至真空燒結爐內,對整個系統(tǒng)抽真空,并升溫至1400~1800℃,最高溫時保持2~8小時后,開始冷卻,制備得鈦氧化物材料。本發(fā)明提供了一種制作簡單、成本低廉的透明導電薄膜材料鈦氧化物。
聲明:
“高折射率導電薄膜材料鈦氧化物及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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