本發(fā)明公開(kāi)了一種大尺寸鉬鈮靶材的制備方法,采用獨(dú)特的球磨工藝,球磨機(jī)內(nèi)襯材料與磨球均為鉬或鈮為母體的合金,引入的雜質(zhì)很少,可保證靶材的高純度;經(jīng)球磨、真空燒結(jié)使粉末粒度均勻,燒結(jié)組織均勻,包套處理防止了鉬鈮靶材氧化或者氫化而生成脆性相,保證了鉬鈮合金的可塑性,解決了低成本大尺寸鉬鈮靶材的難題。本發(fā)明的效果和益處是在制造成本、產(chǎn)品性能、規(guī)?;a(chǎn)和環(huán)境友好等方面都展現(xiàn)出顯著的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)和利潤(rùn)空間。
聲明:
“大尺寸鉬鈮靶材的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)