本發(fā)明涉及一種用于激光晶體的光學(xué)薄膜結(jié)構(gòu)及其制備方法，其特征在 于：在傳統(tǒng)的用于激光晶體的介質(zhì)/金屬的復(fù)合膜系之間增加了一層硬質(zhì)薄膜 緩沖層，其作用是增加介質(zhì)-金屬?gòu)?fù)合膜系的結(jié)合力，并提高復(fù)合膜系的抗激 光損傷閾值，適應(yīng)了大功率激光器的發(fā)展需要。所述的緩沖層薄膜是通過(guò)電 子束熱蒸發(fā)制備的，生長(zhǎng)過(guò)程是首先將TiN顆粒及清洗后的襯底置于真空生 長(zhǎng)室中；將生長(zhǎng)室抽真空；利用電子束照射TiN顆粒，同時(shí)在真空室中通入 一定量的氮?dú)饣蚴堑x子，TiN緩沖層薄膜就會(huì)沉積到襯底上。本發(fā)明TiN 緩沖層可以顯著提高復(fù)合膜系的結(jié)合力和抗激光損傷閾值，對(duì)于飛速發(fā)展的 高功率激光器有著重大的理論和現(xiàn)實(shí)意義。