基于梯度預(yù)晶化熱處理的多層BST薄膜制備方法,屬于
功能材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明在逐層制備多層BST薄膜的過程中,對逐層制備的BST薄膜進(jìn)行梯度預(yù)晶化熱處理。梯度預(yù)晶化熱處理BST薄膜沿(110)晶面生長、生長均勻緩慢、平均晶粒20~30nm、晶界清晰、晶粒間隙小、光滑致密、無裂紋、無縮孔,介溫系數(shù)小、頻率特性穩(wěn)定、綜合介電性能顯著提高。介電常數(shù)322~398、調(diào)諧率34.5%~46.3%、介電損耗0.55%~0.97%、漏電流密度4.2×10-9~9.0×10-8A/cm2、介溫系數(shù)1.3×10-3~3.4×10-3/K、優(yōu)質(zhì)因子42.9~76.1,可滿足BST薄膜的微波實(shí)用。
聲明:
“基于梯度預(yù)晶化熱處理的多層BST薄膜制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)