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高深寬比結(jié)構(gòu)的電容式加速度計

939 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-01 01:00:06

本實用新型公開了一種高深寬比結(jié)構(gòu)的電容式加速度計,它涉及半導體MEMS制造領域中的一種高靈敏度加速度計。它由玻璃襯底、硅質(zhì)量塊、玻璃襯底電極、硅玻璃鍵合臺面、懸臂梁、硅定梳尺、硅動梳尺、硅片等部件組成。硅定梳尺通過硅-玻璃鍵合點固定在玻璃襯底,形成固定部分,硅動梳尺、硅質(zhì)量塊通過懸臂梁與硅玻璃鍵合臺面連接,形成可動部分。當感受到敏感軸方向外界加速度時,懸臂梁產(chǎn)生變形,硅動梳尺和硅定梳尺之間的電容量改變被采集輸出,測出加速度。它具有加工工藝簡單,工藝精度高,成本低廉等特點,它還具有靈敏度高,分辨率高,性能穩(wěn)定等優(yōu)點,特別適用于地質(zhì)探礦、個人導航系統(tǒng)等高新技術領域作加速度計。

聲明：

“高深寬比結(jié)構(gòu)的電容式加速度計” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)