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基于聚酰亞胺基體納米SiO2空心球復(fù)合材料的制備方法

697   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:33:01
一種基于聚酰亞胺基體納米SiO2空心球復(fù)合材料的制備方法,它涉及納米SiO2空心球復(fù)合材料的制備。本發(fā)明是要解決現(xiàn)有技術(shù)存在制備的聚酰亞胺薄膜介電常數(shù)高,難以滿足微電子行業(yè)對于基材技術(shù)要求的問題。方法:一、制備納米SiO2空心球粉末;二、制備納米SiO2空心球/聚酰胺酸膠液;三、制備三層納米SiO2空心球/聚酰胺酸薄膜;四、熱亞胺化;五、脫膜,即得到基于聚酰亞胺基體納米SiO2空心球復(fù)合材料。本發(fā)明制備基于聚酰亞胺基體納米SiO2空心球復(fù)合材料的介電常數(shù)低至1.9,可廣泛適用于高速集成電路撓性覆箔板基材中。本發(fā)明用于一種基于聚酰亞胺基體納米SiO2空心球復(fù)合材料的制備。
聲明:
“基于聚酰亞胺基體納米SiO2空心球復(fù)合材料的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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