一種制備Si基半導(dǎo)體二元共晶自生
復(fù)合材料的方法,將從共晶合金母材上切取的試樣棒置于激光懸浮區(qū)熔定向凝固爐內(nèi),保持其與抽拉機(jī)構(gòu)同軸。利用激光懸浮定向凝固裝置使兩束等質(zhì)量的激光對稱的對試樣進(jìn)行區(qū)熔熔化,獲得穩(wěn)定的熔區(qū)后,通過抽拉實現(xiàn)材料的連續(xù)定向凝固。激光懸浮區(qū)熔定向凝固過程中,激光功率為400~1200W,抽拉速率為1~500μm/s,熔區(qū)長度為5~9mm,激光光斑2~4mm。本發(fā)明實現(xiàn)了Si基共晶合金5000~7000K/cm溫度梯度、1~500μm/s的無坩堝約束快速定向凝固,完全消除了傳統(tǒng)定向凝固坩堝引起的污染和裂紋,獲得了組織超細(xì)化,纖維分布均勻,取向精度高的Si基半導(dǎo)體二元共晶自生復(fù)合材料。
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