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電熱法快速CVD制備C/C復合材料的沉積設備

1055 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 16:40:01

本實用新型提供一種電熱法快速CVD制備C/C復合材料的沉積設備，其包括用石英玻璃管制成的反應室，設置在反應室兩端內(nèi)側的用于固定的法蘭，設置在同一端兩法蘭之間用于密封的密封圈，設置在反應室兩端用于向反應室內(nèi)提供反應氣體的入口及出口，該入口和出口同時用于接入加熱電極；設置在反應室下方用于通電加熱的直流穩(wěn)壓穩(wěn)流電源。本實用新型采用石英玻璃做反應室，可以保證在沉積過程中，隨時觀察沉積情況，隨時終止沉積過程，加熱速度快，大大縮短了沉積時間，提高了沉積效率，也可隨時調(diào)節(jié)沉積溫度，無需水冷系統(tǒng)，簡化了設備，降低了成本。

聲明：

“電熱法快速CVD制備C/C復合材料的沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)