本發(fā)明涉及射頻微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域,提出一種柔性薄膜體聲波諧振器,包括由下至上依次設(shè)置的襯底、下電極、壓電層和上電極,其中上電極和下電極的材質(zhì)為
石墨烯、
碳納米管或聚3,4?乙烯二氧噻吩,壓電層的材質(zhì)為ZnO納米棒和P(VDF?TrFE)組成的
復(fù)合材料,或氮化鋁和P(VDF?TrFE)組成的復(fù)合材料。本發(fā)明還提出一種柔性薄膜體聲波諧振器的制備方法:固定襯底,在襯底上通過還原氧化石墨制備下電極;在下電極上利用水熱法制備ZnO納米棒;在ZnO納米棒上旋涂P(VDF?TrFE),并真空退火處理;在ZnO/P(VDF?TrFE)上通過還原氧化石墨制備上電極并進(jìn)行極化;在上電極上沉積固化聚二甲基硅氧烷溶液制備保護(hù)層。本發(fā)明具有高柔性、高品質(zhì)因素、高諧振頻率的特點,可應(yīng)用于射頻電路中的濾波器及觸覺檢測領(lǐng)域。
聲明:
“柔性薄膜體聲波諧振器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)