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電子束加工銅-石墨烯復(fù)合納米圖形的方法

889   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:08:29
本發(fā)明公開了一種電子束加工銅?石墨烯復(fù)合納米圖形的方法,先在提供的襯底上旋涂一層環(huán)烷酸銅薄膜;利用電子束曝光技術(shù)對樣品進(jìn)行曝光經(jīng)顯影后得到預(yù)設(shè)的環(huán)烷酸銅納米圖形;然后對樣品進(jìn)行退火處理得到銅?石墨烯復(fù)合材料的納米圖形,本發(fā)明解決了傳統(tǒng)微納加工無法制造具有極小特征尺寸復(fù)合材料納米結(jié)構(gòu)圖形的不足,同時由于不需要進(jìn)行金屬的沉積降低了生產(chǎn)成本。
聲明:
“電子束加工銅-石墨烯復(fù)合納米圖形的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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