本發(fā)明屬光機電和計算機一體化的儀器,可用于云紋干涉法、電子散斑法和電子幾何云紋法正常光照下亞動態(tài)測試,體積小成本低。設置激光器1,擴束鏡2,準直鏡3,分光鏡/反光鏡4,正交光柵5,反射鏡組6、7,驅動線路板8,步進和變速系統(tǒng)9,攝像機10以及微機11、反射鏡13等。除11和13外,組裝在一個封閉的多層框架12內。14為測試對象。由11驅動8、9使擴束鏡2移動,實現(xiàn)擴束光和準直光的變換;驅動4實現(xiàn)光柵分光和分光鏡分光的變換;驅動6、7實現(xiàn)測試靈敏度的小步距大范圍調節(jié),初始或載波云紋的調節(jié);有微機處理、判斷功能,用于結構強度、熱應力、殘余應力、焊接質量、電子封裝延壽研究,層間缺陷檢測,工程、生物和
復合材料力學性能測試研究。
聲明:
“微機調控激光干涉儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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