一種場發(fā)射電子源器件,它有封入真空容器內(nèi)的場發(fā)射電子源和陽極,場發(fā)射電子源包括基片上的陰極、柵極及其間層結(jié)構(gòu),其特征是引出柵極電極的厚金屬膜與陰極之間為絕緣層,而與厚金屬膜相連的、具有大量微孔的薄金屬膜與陰極之間為復(fù)合體層。上述的間層結(jié)構(gòu)指位于陰極與柵極之間的絕緣層、半導(dǎo)體層、復(fù)合體層。上述的薄金屬膜指厚度在50納米以內(nèi)、具有大量微孔的金屬膜。其制備方法是利用微電子工藝在硅、玻璃等基板上的陰極上制備有
復(fù)合材料層薄膜,再在上述的復(fù)合材料薄膜表面上有薄金屬膜柵極,將上述器件與陽極密封在真空容器內(nèi)而成。本實(shí)用新型工藝簡單,結(jié)構(gòu)合理,具有驅(qū)動(dòng)電壓低、發(fā)射電流密度高、電子束發(fā)散小,發(fā)射率高等優(yōu)點(diǎn)。
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