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場發(fā)射電子源器件

1102   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:23:12
一種場發(fā)射電子源器件,它有封入真空容器內(nèi)的場發(fā)射電子源和陽極,場發(fā)射電子源包括基片上的陰極、柵極及其間層結(jié)構(gòu),其特征是引出柵極電極的厚金屬膜與陰極之間為絕緣層,而與厚金屬膜相連的、具有大量微孔的薄金屬膜與陰極之間為復(fù)合體層。上述的間層結(jié)構(gòu)指位于陰極與柵極之間的絕緣層、半導(dǎo)體層、復(fù)合體層。上述的薄金屬膜指厚度在50納米以內(nèi)、具有大量微孔的金屬膜。其制備方法是利用微電子工藝在硅、玻璃等基板上的陰極上制備有復(fù)合材料層薄膜,再在上述的復(fù)合材料薄膜表面上有薄金屬膜柵極,將上述器件與陽極密封在真空容器內(nèi)而成。本實(shí)用新型工藝簡單,結(jié)構(gòu)合理,具有驅(qū)動(dòng)電壓低、發(fā)射電流密度高、電子束發(fā)散小,發(fā)射率高等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“場發(fā)射電子源器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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