本實用新型公開了一種
鈣鈦礦光電探測器,包括自下而上依次組成的襯底、底層電極、光吸收層、頂層電極和光學(xué)調(diào)制層,所述光學(xué)調(diào)制層包括下層的電介質(zhì)層和上層的光反射膜層,所述電介質(zhì)層選自Si、ZnO、ZnS、Si
3N
4、Al
2O
3、SiO
2和TiO
2中的一種,所述光反射膜層選自Au、Ag、Al、Cu、Ni、Pt、Ti、TiN和ZrN中的一種。光學(xué)調(diào)制層覆蓋在鈣鈦礦光電探測器的頂層電極上,與鈣鈦礦光電探測器整個器件耦合實現(xiàn)具有波長選擇性的完美吸收,增強入射到鈣鈦礦光電探測器中的光能量,從而進一步提高光響應(yīng)度。
聲明:
“鈣鈦礦光電探測器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)