本發(fā)明涉及光學(xué)器件技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種鈮酸鋰光波導(dǎo)及通過鈦擴(kuò)散和VTE制備近化學(xué)計量比鈮酸鋰光波導(dǎo)的方法,包括基底以及位于所述基底上的波導(dǎo)層,所述基底采用鈮酸鋰晶體,所述波導(dǎo)層位于所述鈮酸鋰晶體的+z面,條波到的方向是鈮酸鋰晶體的y方向,在所述基底上制備波導(dǎo)層采用的是光刻工藝。所制備的光波導(dǎo)性能優(yōu)良,損耗小,能夠在各種光學(xué)研究中起到良好的作用,對鈦擴(kuò)散后的鈮酸鋰晶體采用富鋰氣相輸運平衡處理,達(dá)到近化學(xué)計量比(NS,[Li]/[Nb]>99%)。近化學(xué)計量比鈮酸鋰晶體具有很多更加優(yōu)異的性能:晶體缺陷少,光學(xué)均勻性好,具有更強(qiáng)的電光和非線性效應(yīng)。鈦擴(kuò)散光波導(dǎo)具有波導(dǎo)性能優(yōu)良,且損耗較小等優(yōu)點。
聲明:
“鈮酸鋰光波導(dǎo)及通過鈦擴(kuò)散和VTE制備近化學(xué)計量比鈮酸鋰光波導(dǎo)的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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