本公開內(nèi)容提供一種制造薄膜電池中的鋰沉積工藝中使用的掩蔽裝置(100)。掩蔽裝置(100)包括由金屬或金屬合金制成的掩模部分(110)、和在掩模部分(110)中的一個或多個開口(120),其中一個或多個開口(120)經(jīng)構造以允許沉積材料的顆粒穿過掩模部分(110),而且其中一個或多個開口(120)中的每個開口的尺寸為至少0.5cm2。
聲明:
“制造薄膜電池中的鋰沉積工藝中使用的掩蔽裝置、用于鋰沉積工藝的設備、制造薄膜電池的電極的方法和薄膜電池” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)